石英坩埚的用途
除工业用于粉末煅烧等用途之外,石英坩埚主要是用于单晶材料拉制时的容器,特别是CZ法硅单晶材料拉制时的容器。
众所周知,CZ发拉制的单晶硅材料广泛用于半导体器件和太阳能电池板的制备。
高纯度的多晶硅原料,在1500度左右高温下熔化成硅液,而石英坩埚就是盛放该高温硅液的容器。从该高温溶液中拉制出来的单晶硅棒之后被切成硅片,用作制作半导体器件或单晶硅太阳能电池板。
迄今为止,石英坩埚是最适合制作该容器的材料,它可以最大程度的保证硅液的纯度,且在高温环境下可以保持较长时间而不发生变形。
石英坩埚生产方法
石英坩埚一般是通过旋转模具电弧法制作。通过该方法制作的石英坩埚毛坯依次经过外表面磨砂处理、高度切割、化学清洗等包装入库。
在此过程中,石英坩埚执行严格的检验过程,譬如外观缺陷、尺寸精度、表面清洁度等。
技术研发
我们生产的石英坩埚一般是由两层结构,其中内层为几乎不含气泡的透明层,外层是含有大量气泡的不透明层。内层透明层直接与高温硅液接触,它的质量对硅单晶拉制过程和质量影响甚大。外层不透明层主要是散射来自高温石墨加热器的辐射热量,为单晶硅制作提供相对稳定的热场环境
并且,石英坩埚的纯度可根据客户要求进行制作。现在最内层为超高纯合成石英的合成石英坩埚广发应用于半导体领域。
现在,我们可以提供不同规格要求的石英坩埚产品。未来,更多的更好的产品将会和客户合作开发。