联系电话
86-416-7988200
官方微信
官方微信
TOP
石英坩埚发展历程
上传时间:2021年03月23日 09:42:01
  最早期的石英坩埚是全部的透明的结构,锦州坩埚这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件,增加晶棒生长的困难度。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于籍着降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。因为石英坩埚本身是非晶质的介态能,在适当的条件下它会发生相变化而形成稳定的白矽石结晶态,单晶产生位错的机率随着石英坩埚的使用时间及温度增加而增加。因此石英坩埚的使用总是有着时间的限制,超过一定的时间,过多的白矽石颗粒将从石英坩埚壁释放出来,使得零位错的生长而终止。这种石英坩埚使用寿命的限制,锦州坩埚是生长更大尺寸晶棒及(多次加料)晶棒生长的一大阻碍。
  为了解决这一问题,钡涂层坩埚应运而生了。这是因为钡在矽中的平衡偏析系数非常小,使得他在矽晶棒中的浓度小于2.5x109/cm3,因而不会影响到晶圆的品质。通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡(Ba(OH)2.8H2O),这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时,碳酸钡会分解形成氧化钡,随着氧化钡与石英坩埚反应形成矽酸钡(BaSiO3)。由于矽酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶。锦州坩埚这种微小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快被溶液溶解掉,因此目前市场普遍使用的钡涂层坩埚可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚外壁形成一层白矽石结晶的又可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化现象。
服务热线
86-416-7988202
86-416-7988237
版权所有:锦州佑鑫石英科技有限公司
技术支持:辽宁华睿科技有限公司
本站违法和不良信息举报电话:0416-7988205
举报邮箱 bo.zhang@yxquartz.com
中央网信办互联网违法和不良信息举报中心中央网信办互联网违法和不良信息举报中心
辽宁省互联网违法和不良信息举报中心辽宁省互联网违法和不良信息举报中心