大尺寸高性能合成石英玻璃取得突破
上传时间:2021年01月27日 16:44:09
中国建材集团科技创新团队中国建筑材料工业石英玻璃重点实验室在国家“十一五”科技攻关支持下,佑鑫石英自主研究开发的立式气相沉积高性能合成石英玻璃(JGS1)取得重大突破。现可生产国内最大的Φ600mm的单个石英玻璃坨,其重量达到200千克,可加工尺寸Φ10~900mm的各类高性能石英玻璃板材,已形成年产量20余吨高性能石英玻璃生产线;产品的光学均匀性达到1×10-6,性能达到国际先进水平。产品在质量、数量完全满足航天及“神光工程”等工程的研制需求;并且已远销日本、韩国、美国等多个国家和地区,订货量逐年递增。
该生产线属科研成果转为生产进入市场开发的示范之一。佑鑫石英科研人员自1998年起致力于高性能石英玻璃的生产工艺和产品性能的科技攻关。在生产工艺上敢于创新,打破传统卧式CVD工艺的生产模式,发明了立式CVD合成石英玻璃新工艺,于2002年取得实验室突破;立式工艺的突破大大提高了JGS1石英玻璃的产品尺寸、产品质量和生产效率,2003年申请国家发明专利并获得授权。
与此同时,采用多项特殊专利技术和装备,不断提高JGS1石英玻璃的产品性能。佑鑫石英国家安全和石英玻璃质量监督检测中心为产品性能检测配备了激光干涉仪、原子吸收光谱、紫外-红外分光光度计、定量应力仪、条纹仪、气泡检测仪及光学显微镜等各类检测仪器,为用户提供准确可靠的产品性能检验。经产品检测和重点用户使用,大尺寸高性能合成石英玻璃的光学、理化等性能达到国际少数发达国家同类产品水平,成为我国惟一具有自主知识产权,以院士为核心,与企业相结合的研发高性能合成石英玻璃的基地。